AI-YMS简介
面对晶圆良率波动,传统的分析路径往往受限于数据分散、人工比对繁琐、多维度关联耗时长等瓶颈。我们正式推出以YMS为核心,多软件工具协同支撑的全链路良率监控与溯因Agent,将资深良率工程师的复杂推理链路转化为 标准化、可复用的自动化分析能力。
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·调用YMS Site 分析MCP 进行分析
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·根据site 间差异对比判断测试问题并非该低良问题的根因
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·共同机台分析
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全量数据自主融合
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常态化主动监控
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自动拉取并关联CP、WAT、WIP、
Defect、FDC等多源数据,构建完
整的分析基底,消除数据孤岛。
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按Lot/Day维度自动执行良率与关键
参数的日常监控,及时发现偏移与异
常趋势,将被动响应转变为主动预警。
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智能化关联下钻
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结论式报告输出
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基于空间异常与参数偏移的联动机制,
自动触发工艺区间回溯与机台级数据追
查,实现从现象到本质的递进式推理。
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最终生成包含问题定位、根因判断及 优化建议的结构化总结报告,为决策提 供直接依据。 |





