简介
TEM/SEM量测是晶圆厂工艺控制的重要手段。通常量测电路关键尺寸(CD)、膜厚等数据，及时反馈是否满足工艺，并做出工艺调整以提高产品良率。
iMetrology是一款针对于TEM/SEM图片，AI赋能量测实现手动或自动批量量测的一款软件。解决了目前工程师量测作业面临的操作复杂、精度低、复用性差等工程痛点。
INF-iMetrology
AI智能量测工具
产品亮点
深度适配工业场景
分段量测： 水平/竖直切线自动轮廓划分，快速计算隔段均值
系列量测：基于基准线，严格指定物理间距进行量测
角度量测：适用于结构倾角、夹角、走向等角度类参数测量
面积涂鸦：支持涂鸦式区域勾勒，快速获取不规则面积数据
AI全效赋能量测
智能边缘检测： 适配多种图像质量与器件形态，适配不同噪声图像
平滑度调整：平衡细节保留与噪声过滤
特殊点吸附：自动定位驻点/曲率关键位置
参数主动推荐：减少轮廓调参成本
智库经验批量复用
在图像中截取典型器件保存为智库对象，并预定义量测规则，让工程师经验固化为可调用方案
新图像中识别相似器件，自动调用智库中既有量测规则
高精度手动微调
轮廓套索手动补充不明显边界
灰度分析精准分析边界差异，为工程师提供像素级手动微调能力
核心价值
- 搭载智能、快速的图像轮廓检测引擎，融合多种AI轮廓算法，适应强噪声、弱对比、边缘堆叠等多种情况;
- 软件内集成丰富便捷的量测工具，操作流程与界面布局紧密贴合半导体工程师的日常使用习惯，无需复杂培训即可上手操作;
- 配合AI器件库进行智能管理和批量量测，大幅提升量测效率与精度，保障每一次输出结果的高度一致，让品质管控更加可靠。
主要功能
TEM/SEM
满足DM3/4文件的识别
及批量图片的导入
及批量图片的导入
自动识别标尺
AI自动识别图片标尺，
把控量测精度
把控量测精度
图片校正
快速校正图片，
避免繁琐自定义调整
避免繁琐自定义调整
边缘识别/吸附
高精度AI轮廓识别，
助力快速量测
助力快速量测
多种量测方式
双击量测、自定义间距自动量测、
水平线分段量测等
水平线分段量测等
量测经验沉淀
构建AI器件库，典型器件入库复用，一键匹配量测
